国内外关于ITO废靶材的资源化利用和无害化处置技术的相关研究较多，主要可分为湿法、火法以及火湿法联合三大类。湿法类主要的提取方式为盐酸浸出，浸出液经氧化法或使用铝粉、锌粉等分离铟锡后再置换得到粗铟，该方法的缺点是铟锡分离率低，氧化锡渣等中含铟约1%～2%，铟直收率﹤97%。
还有学者采用萃取法对废液晶屏中铟锡等进行分离和回收，仅停留在试验室阶段，未能实现产业化。火法类主要的提取方式为氢气还原废靶粉得到铟锡合金，合金再经真空蒸馏分离得到粗铟和粗锡，该方法同样存在铟锡分离不彻底的问题，粗锡中含铟高达1%以上，铟直收率﹤98%。
试验结果表明，基于蒸馏法的铟锡资源化工艺可实现更彻底的铟锡分离效果：在实现99.52%的锡去除率的同时，铟的收率高达99.70%。本研究在获得更高的铟锡直收率的同时，可得到高品质的金属铟产品及副产品五水氯化锡；且蒸馏过程初期蒸出的盐酸经冷凝回收后可回用至盐酸浸出工序，节约酸碱中和成本的同时实现了清洁生产。
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