对ITO废靶材中铟锡进行资源化的关键是要综合考量铟锡的分离率、直收率以及产品和副产品的品质等经济技术指标。上述几种主流的从ITO废靶中综合回收铟锡的工艺中有一个共性的问题，那就是铟锡的分离不够彻底，铟的回收率在97%～98%，进一步提升铟收率的空间较小，产生的锡渣或粗锡中含铟较高，作为锡原料或产品出售时会造成铟的损失；所以，探寻一种从ITO废靶材中充分、彻底分离并回收铟锡的新方法显得尤为重要。
试验结果表明，基于蒸馏法的铟锡资源化工艺可实现更彻底的铟锡分离效果：在实现99.52%的锡去除率的同时，铟的收率高达99.70%。本研究在获得更高的铟锡直收率的同时，可得到高品质的金属铟产品及副产品五水氯化锡；且蒸馏过程初期蒸出的盐酸经冷凝回收后可回用至盐酸浸出工序，节约酸碱中和成本的同时实现了清洁生产。
ITO靶材有中低端和高端之分：中低端ITO靶材有玻璃镀膜靶材、发热膜和热反射膜靶材，包括汽车的显示屏、一些仪器仪表的显示。高端ITO靶材主要用于显示器薄膜靶材、集成电路薄膜靶材以及磁记录和光记录膜靶材，尤其用于大面积、大规格的LED、OLED等领域，具备高密度、高纯度、高均匀性等特点。
从全球ITO靶材需求量来看，据统计，截至2019年全球ITO靶材市场需求量为1680吨，2015-2019年CAGR为5.5%。