国内外关于ITO废靶材的资源化利用和无害化处置技术的相关研究较多，主要可分为湿法、火法以及火湿法联合三大类。湿法类主要的提取方式为盐酸浸出，浸出液经氧化法或使用铝粉、锌粉等分离铟锡后再置换得到粗铟，该方法的缺点是铟锡分离率低，氧化锡渣等中含铟约1%～2%，铟直收率﹤97%。
采用蒸馏法进行铟锡的分离及资源化试验，在油浴温度132 ℃左右，蒸馏5 h左右，可得到满意的铟、锡分离效果及理想的铟锡回收率；本试验工艺可得到99.97%纯度的金属铟产品的同时，还可继续生产高品质的副产品五水氯化锡。蒸馏过程初期蒸出的盐酸经冷凝回收后回用至盐酸浸出工序，节约酸碱中和成本的同时实现了清洁生产。
中国已经是世界的ITO靶材需求国，在全球的比重将从2016年的40%提高到2019年的49%，则中国对ITO靶材的需求量从2016年的542吨增长到2019年的823吨。
全球铟资源的分布也极不平衡，我国是世界上铟资源丰富的国家，已探明储量占比达72.7%。同时，受进口靶材免税政策即将到期的影响，未来进口靶材的成本有可能会大大增加，从而使国产ITO靶材供应成本优势更加显著。